超声键合系统接触界面非线性振动
DOI:
作者:
作者单位:

作者简介:

通讯作者:

中图分类号:

基金项目:


Author:
Affiliation:

Fund Project:

  • 摘要
  • |
  • 图/表
  • |
  • 访问统计
  • |
  • 参考文献
  • |
  • 相似文献
  • |
  • 引证文献
  • |
  • 资源附件
  • |
  • 文章评论
    摘要:

    为了提高超声键合换能系统的键合强度,降低换能系统的非线性振动,提高芯片键合的稳定性,本文从超声波在超声键合系统中的传播出发,建立了超声波在接触界面处传播的微观模型。当静应力较小时,由于动应力的作用,动应力幅度大于静应力,两种材料接触界面会 发生分离,使输出的超声波不完整,材料内部质点振动位移较小;当静应力逐渐增大时,材料进入弹性变形阶段,输出的超声波波形与输入的超声波的波形一致,质点的振动位移最大;当静应力太大时,材料进入塑性变形区域,由于动应力的加载与卸载,应力与应变存在迟滞性,材料内部存在残余应力与残余应变,材料出现硬化现象,使输出超声波波形发生畸变,材料内部质点的振动位移减小.在倒装键合平台上进行了该模型的键合试验,使用多普勒测振仪,测量得到劈刀末端的振动速度,键合完成后测试了芯片键合强度。试验结果证明了该模型的正确性。

    Abstract:

    In order to increase the bonding strength, decrease the nonlinear vibra tion of ultrasonic transducer system and enhance the stability of chip bonding, this paper described the ultrasonic propagation at the contact interface in a th ermosonic bonding system and presented a micromechanical model of ult rasonic propagation. When the static stress is small, the total stress is smalle r th an zero. The contact interface of two materials will detach, which makes the wav efor m of output ultrasonic imperfect, and the displacement of material particle vibr atio n is small. When the static stress increases, the materials enter elastic def ormation phase and the output ultrasonic waveform is identical to the input ultr asonic waveform with the maximum displacement of the material particle vibration . When the static stress is large enough, the materials enter plastic phase. Residual stress and residual displacement exist in interior material because of loading and unloading of dynamic stress, and hardening of material comes into be ing, which leads to the distortion of output ultrasonic waveform and the decreas e of material particle vibration displacement. An experiment is conducted and the r esults are testified by the model.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文
分享
文章指标
  • 点击次数:
  • 下载次数:
  • HTML阅读次数:
  • 引用次数:
历史
  • 收稿日期:
  • 最后修改日期:
  • 录用日期:
  • 在线发布日期:
  • 出版日期:
您是第位访问者
振动、测试与诊断 ® 2024 版权所有
技术支持:北京勤云科技发展有限公司