为了提高微器件的设计效率,提出一种微器件的结构新型设计评价方法。首先，根据理论分析获得微机械陀螺结构设计原则,以典型两质量块微机械陀螺为研究对象,利用有限元工具与模态分析相结合,获得该系统固有频率和相应的 振型矩阵；然后，利用模态叠加法求各阶模态对于驱动振动和检测振动的贡献度,并采用能量法分析各阶模态对系统的影响；最后,针对两类音叉式微机械陀螺具体实例模型,分别获得系 统各阶模态能量在频域上的分布情况,证明所提出的微结构设计评价方法的正确性。