摘要:针对智能高速机床对高频响、微振动检测的需要,提出并研制了一种基于双桥梁结构的高频 响微加速度传感器。利用Ansys静态与模态仿真,分析了双桥梁结构的应力状态和固有频率, 一阶固有频率为118 kHz,达到了预定的设计要求。结合MEMS湿法刻蚀工艺与硅玻璃键和 技术得到传感器样品。静态实验结果表明,双桥梁结构加速度传感器在3V的稳压电源下主轴 灵敏度达到了0264 mV/g,非线性度为067%,迟滞为269%。 动态标定系统测试表明, 传感器动态响应频率达到1246 kHz,满足智能机床主轴在转速达到60 kr/min时的高频响 测量要求。