1.广东工业大学机电工程学院 广州,510006;2.广州纳动半导体设备有限公司 广州,510006;3.华南理工大学材料科学与工程学院 广州,510006;4.季华实验室 佛山,528255

汤晖，男，1982年3月生，博士、教授、博士生导师。美国哥伦比亚大学/香港理工大学博士后、欧盟“玛丽-居里”学者、“青年百人”A+类高层次引进人才、广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室主任助理、微纳米定位及半导体装备研发领域知名专家。主要研究方向为柔顺微纳操作及先进半导体装备制造。曾发表SCI/EI学术论文80余篇（国际TOP类SCI期刊19篇），授权中国发明专利30余件、美国专利2件。承担国家重点研发计划项目（课题）、国家自然科学基金项目、国际科技合作以及企业委托开发项目等20余项，研究成果已成功应用于华为、大族半导体、TCL华星光电、海目星激光以及劲鑫科技等行业龙头企业。曾担任大族激光高级专家顾问，指导开发出我国首台MicroLED激光巨量转移修复设备。获中国机械工业科技进步一等奖、广东省技术发明奖一等奖各1项。

张晓辉，男，1981年6月生，博士、研究员。主要研究方向为显示及半导体领域准分子光源与装备。E-mail：202011004153@mail.scut.edu.cn

TH69

国家自然科学基金面上资助项目（51975132）；广东省国际科技合作资助项目（2022A0505050078）；国家自然科学基金委员会-区域创新发展联合基金重大集成资助项目（U20A6004）