作为微纳操作、精密测量与微机电系统领域核心部件，纳米定位平台是微纳技术与精密机械领域的研究热点。笔者提出基于6-RRRR柔顺并联机构的空间六支链纳米定位平台，由6支压电促动器驱动，经6条柔顺并联支链传动，末端执行器具备纳米级精度的运动生成能力。首先，设计平台机构构型、压电驱动、实时测量与闭环反馈方案，实现纳米级精度的位移生成、传递、测量与控制；其次，推导平台在平面内外的雅克比矩阵，引入4项位移损失因子予以修正，建立高精度的运动学模型；最后，加工平台样机并设计刚度测试、工作空间与轨迹追踪实验，测试平台性能指标，验证平台雅克比矩阵的计算精度。结果表明：笔者所设计的纳米定位平台具有刚度高、转角大与定位精度优异等特性，经4项位移损失因子修正的运动学模型精度较高。