为分析钻孔孔深和孔径对测量残余应力精度的影响，首先，基于ANSYS软件构建三维有限元模型，通过改变孔径和钻孔深度，对中心圆直径为9.6 mm的B型应变片进行应变释放系数矩阵的标定；其次，在模型深度方向施加已知的不均匀初始应力场，利用应变值和标定的释放系数矩阵计算理论应力值，并与初始应力场进行比较，以优化钻孔孔径和孔深尺寸。结果表明：逐层钻孔法计算误差随钻孔深度增加而增大；当钻孔深度取推荐值、孔径为0.4D时，计算得到的理论应力值与初始应力值之间的最大误差在10%以内；当极限深度在0.45D以内时，测得的应力值误差均小于12%，当超过此极限深度时，误差迅速增大。研究结果为采用其他型号应变片测量残余应力时钻孔孔深和孔径尺寸的取值提供了参考。